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北方华创立式高温氧化炉批量中标8吋线项目

日前,北方华创微电子研制的8英寸立式氧化炉中标国内8英寸集成电路特色工艺线项目,获得批量订单,用于产品的高温氧化工艺制程。

近年来,北方华创的12英寸立式氧化炉设备,在技术研发团队持续攻关,以及与中芯国际等用户的紧密合作下,陆续通过了90/65/45/28nm技术代集成电路生产线的工艺验证,实现产线应用。随着国内8英寸产线的建设与扩产,8英寸设备的需求释放。北方华创利用多年12英寸立式炉的技术积累及客户需求,针对性开发出了全新的8英寸立式高温氧化炉。该产品基于同一套经过量产验证的高稳定性、高可靠核心控制系统架构,采用了高精度先进温度场控制算法和控制系统以及成熟的自主知识产权软件平台,适用于8英寸90nm及以上技术代的干氧氧化、湿氧氧化和高温退火等工艺。

当前,北方华创已经具备8英寸半导体设备系列产品的市场供应能力,产品包括多晶硅刻蚀机、高深宽比硅刻蚀机、氧化硅刻蚀机、金属刻蚀机、PECVDLPCVD、立式氧化炉、卧式扩散炉、单片清洗机及全自动槽式清洗机等工艺设备。