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北方华创集成电路PVD设备安装量超过100腔室

北方华创PVD设备在集成电路主流生产线安装量超过100腔室。这是北方华创在集成电路领域市场化道路上的里程碑式的跨越,是国产高端PVD设备在集成电路领域的全面突破。

PVD设备是集成电路制造制程核心的薄膜工艺设备。北方华创是国内集成电路PVD设备生产厂商,拥有磁控溅射源设计、等离子产生与控制等多项核心技术,并拥有自主知识产权。北方华创率先推出的TiN Hardmask PVD系统、Al Pad PVD系统等产品,已经应用于28nm及14nm工艺制程。其中,TiN Hardmask PVD系统已成为28nm大生产线中首台国产Baseline机台。TiN Hardmask PVD以优异的工艺表现获得国际主流客户的青睐。Al PadPVD系统,也顺利打入国际供应链体系,实现了在逻辑、存储和新型显示等多个领域的应用。

除了在集成度电路领域应用外,北方华创PVD设备技术也延伸应用于先进封装和半导体照明等领域。从2012年首台设备进入产线应用开始,至今已完成超过320个工艺腔室的销售安装,累计量产超过800万片。